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PT-10SMT 石英射頻等離子清洗機(jī)

類別：小型真空等離子表面處理機(jī)

簡介： 低溫活化表面處理設(shè)備等離子去膠機(jī) 晶圓等離子清洗裝置小型等離子設(shè)備

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產(chǎn)品特點
應(yīng)用領(lǐng)域

PT-10SMT
腔體材質(zhì)：石英耐熱玻璃
供電電源： AC220V
工作電流：整機(jī)工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率： 0-300W/0-600W可調(diào)（射頻匹配一體）
射頻頻率： 13.56MHz
頻率偏移量：小于0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動匹配
真空度： 10pa-300Pa
氣體路數(shù)：雙路氣體輸入（高精密浮子流量計）
氣體流量： 10—160ml/min(可調(diào))
過程控制： PLC人機(jī)界面自動與手動方式
清洗時間： 1-9999秒鐘可調(diào)
功率大?。?0%-100可調(diào)
內(nèi)腔尺寸：直徑200×深度320mm 10L
外形尺寸： 650×550×580mm L×W×H
真空泵：飛越真空泵VRD-8（含油霧過濾器）
真空室溫度：小于30°C

冷卻方式：強(qiáng)制風(fēng)冷

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PT-10SMT 石英射頻等離子清洗機(jī)

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