PT-5SMT 石英射頻等離子清洗機-小型真空等離子表面處理機-深圳三和波達機電科技有限公司

PT-5SMT 石英射頻等離子清洗機

類別：小型真空等離子表面處理機

簡介： 國產(chǎn)等離子清洗機廠家三和波達等離子清洗裝置小型的等離子清洗器

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產(chǎn)品特點
應用領域

PT-5SMT
腔體材質：石英耐熱玻璃
供電電源： AC220V
工作電流：整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率： 0-200W / 0-300W可調(diào)（射頻匹配一體）
射頻頻率： 13.56MHz
頻率偏移量：小于0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動匹配
真空度： 1pa-30Pa
氣體路數(shù)：雙路氣體輸入（高精密浮子流量計）
氣體流量： 10—160ml/min(可調(diào))
過程控制： PLC人機界面自動與手動方式
清洗時間： 1-9999秒鐘可調(diào)
功率大小 10%-100可調(diào)
內(nèi)腔尺寸 Φ150×270Lmm 5L
外形尺寸： 560×540×550mm L×W×H
真空泵：飛越真空泵VRD-4 （含油霧過濾器）
真空室溫度：小于30°C

冷卻方式：強制風冷

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PT-5SMT 石英射頻等離子清洗機

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